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SPA-4000 棱镜耦合仪SPA-4000

供应商：
全光科技（北京）有限公司
企业类型：
其他

产品简介

产品介绍棱镜耦合仪SPA-4000利用波导耦合原理，测量薄膜或体材料的折射率，薄膜厚度，热光系数以及波导损耗等，用户可选择632.8nm，830nm，1310nm，1550nm以及其它可见光和近红外光源

详细信息

产品介绍

棱镜耦合仪SPA-4000利用波导耦合原理，测量薄膜或体材料的折射率，薄膜厚度，热光系数以及波导损耗等，用户可选择632.8nm，830nm，1310nm，1550nm以及其它可见光和近红外光源。

主要功能：
1、薄膜及波导折射率/厚度/波导损耗测量；
2、薄膜及体材料的双折射测量；
3、体材料折射率的测量；

4、液体折射率的测量；
5、折射率随温度变化的测量分析；
6、折射率随深度变化的测量分析；

主要应用领域：
1、光波导器件芯片的制备；
2、激光晶体的制备；
3、聚合物材料的属性研究；
4、显示技术相关材料的测量；
5、光/磁存储材料的测量；
6、光学薄膜的制备；

主要测量参数：

测量对象测量内容及参数
折射率折射率测量范围1.0 - 2.45
折射率精度0.001
折射率分辨率±0.0005
厚度厚度测量范围0.4㎛ - 20㎛
厚度精度±0.5%
厚度分辨率±0.01㎛
体材料（仅测折射率）折射率精度0.0005
折射率分辨率±0.0001
厚薄膜厚度测量范围2㎛ - 150㎛
液体（仅测折射率）折射率测量范围1.0 - 2.4
折射率精度±0.0005
热光系数温度测试范围室温－150℃
波导损耗测量测量限度below 0.05dB/cm

可测量的薄膜和衬底材料类型：

硅、砷化镓、玻璃、石英、GGG、蓝宝石、锂酸铌等任何光滑的衬底材料均可测量。

薄膜类型衬底类型
Silicon NitrideSilicon
Silicon DioxideSilicon OxynitrideGaAs
Low-k filmsPolymers
Quartz
PolyimidesITOGlass
Zinc SulfideTitanium DioxideSapphire
SapphireEpi GarnetGGG
PhotoresistsHolographic GelsLithium Niobate

一些材料的厚度测量范围：

薄膜类型和折射率厚度和折射率同时测量仅测量厚度
硅基上的二氧化硅（n=1.46）0.48-15mm
0.20-0.48mm
硅基上的光刻胶（n=1.63）0.42-15mm0.18-0.42mm
二氧化硅上的光刻胶（n=1.63）0.70-15mm0.30-0.70mm
硅基上的聚酰亚胺（n=1.72）0.38-15mm0.15-0.38mm
二氧化硅上的聚酰亚胺（n=1.72）
0.50-15mm0.16-0.50mm
硅基上的氮氧化硅（n=1.80）0.35-15mm
0.14-0.35mm
二氧化硅上的氮氧化硅（n=1.80）0.45-15mm0.13-0.45mm
硅基上的氮化硅（n=2.0）
0.32-15mm0.12-0.32mm
二氧化硅上的氮化硅（n=2.0）0.30-15mm
0.15-0.30mm