ZHQF-K科研级气浮隔振光学平台
产品简介
详细信息
ZHQF-K科研气浮隔振光学平台
应用领域:
适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用
产品特点:
■中弘精密依托于光电子产业科研工作人员,研发制造的一款通用性隔振光学平台,能够满足精密负载对振动隔离需求,且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案,改善振动环境,以发挥设备仪器的效能。
■优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动尤其是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。
■自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品标准,标配优质压缩机。
■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。
■隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固可靠。
■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。
技术指标:
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有频率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.7Hz
■减振效率:x方向<5Hz时:88%~94% y方向<5Hz时:86%~92%
x方向<10Hz时:92%~98% y方向<10Hz时:90%~95%
■台面内部支撑:纯蜂窝杯内芯支撑结构,粘接工艺,无焊接应力;
■蜂窝杯状芯板:内部蜂窝状芯板采用的是不锈钢 、铝板,镀锌板等防 腐材料,内芯密度≥250kg/m³;
■振幅:< 1μm
■荷载能力:500kg/m2
■重复定位精度:±0.05mm
产品型号:(接受客户任意规格定制生产)
产品型号 | 规格(mm) | 支撑 | 平板厚度 | 台面厚度 | 螺孔/间距 |
ZHQF-K-06-06 | 600*600*800 | 4 | 6 | 50 | M6/25*25 |
ZHQF-K-075-075 | 750*750*800 | 4 | 6 | 50 | M6/25*25 |
ZHQF-K-09-06 | 900*600*800 | 4 | 6 | 80 | M6/25*25 |
ZHQF-K-10-08 | 1000*800*800 | 4 | 6 | 100 | M6/25*25 |
ZHQF-K-12-08 | 1200*800*800 | 4 | 6 | 100 | M6/25*25 |
ZHQF-K-15-10 | 1500*1000*800 | 4 | 8 | 150 | M6/25*25 |
ZHQF-K-16-10 | 1600*1000*800 | 4 | 8 | 150 | M6/25*25 |
ZHQF-K-18-12 | 1800*1200*800 | 4 | 8 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-20-10 | 2000*1000*800 | 4 | 8 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-20-12 | 2000*1200*800 | 4 | 8 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-20-15 | 2000*1500*800 | 4 | 8 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-24-12 | 2400*1200*800 | 4 | 8 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-24-15 | 2400*1500*800 | 4 | 8 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-30-10 | 3000*1000*800 | 6 | 10 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-30-12 | 3000*1200*800 | 6 | 10 | 200 | M6/25*25 |
ZHQF-K-30-15 | 3000*1500*800 | 6 | 10 | 250 | M6/25*25 |
ZHQF-K-35-12 | 3500*1200*800 | 6 | 10 | 250 | M6/50*50 |
ZHQF-K-40-15 | 4000*1500*800 | 6 | 10 | 300 | M6/50*50 |
ZHQF-K-45-15 | 4500*1500*800 | 6 | 12 | 300 | M6/50*50 |
ZHQF-K-50-15 | 5000*1500*800 | 6 | 12 | 300 | M6/100*100 |
台面细节图
精密研磨处理
表面平整精度
内核采用粘结蜂窝芯及隔离杯结构或焊接钢制蜂窝结构(用户可选)