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山本渡金晶圆电镀设备振荡设备 A-52-ST-P04D 桨式搅拌器

供应商：
深圳市安川测量仪器有限公司
企业类型：
其他

产品简介

产品简介： 产品信息 A-52-ST-P04D 桨式搅拌器晶圆电镀设备、振荡设备A-52-ST-P04D 桨式搅拌器是搅拌样品附近的装置，支持2～8英寸尺寸的单面电镀。双面和12英寸均按订单生产。特征提高电镀均匀性桨叶有效搅动样品表面，稳定扩散层并提高电镀均匀性。向孔状样品主动供给离子对于过孔、通孔、沟槽等孔状样品，通过搅拌向孔内抑制浓度过电压上升，消除空隙等缺陷。预期的。符合国际标准DU型和DW型符合IEC61010-1，带有CE标志，符合EN61326-1。

详细信息

山本渡金晶圆电镀设备振荡设备 A-52-ST-P04D 桨式搅拌器

2英寸型3.4英寸型5.6英寸型8寸型
产品编号A-52-ST2-P04DA-52-ST4-P04DA-52-ST6-P04DA-52-ST8-P04D
水平行程30-50毫米（*1）30-96毫米30-150毫米
外形尺寸（安装尺寸）210（深）×180（宽）×275（高）毫米210（深）×180（宽）×290（高）毫米290（深）×270（宽）×380（高）毫米290（深）×270（宽）×470（高）毫米
体重 (*2)深：6.0公斤
杜、深宽：6.5公斤		深：6.0公斤
杜、深宽：6.5公斤		深:12.9kg
DU,DW:13.4kg		深：13.4kg
DU，DW：13.9kg
转数0-130转/分
输入电压（*2）D：AC100-120V / DU：AC100-120V / DW：AC200-240V
额定输出30W