CP200 台阶仪探针轮廓仪
产品简介
详细信息
中图仪器CP系列台阶仪探针轮廓仪是一种接触式表面形貌测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
产品功能
1.参数测量功能
1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；
2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；
3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
2.数采与分析系统
1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；
2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。
3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。
3.光学导航功能
配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。
4.样品空间姿态调节功能
配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。
CP系列台阶仪探针轮廓仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
典型应用
部分技术指标
| 型号 | CP200 |
| 测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
| 样品观察 | 光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm |
| 探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 |
| 平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
| 单次扫描长度 | 55mm |
| 样品厚度 | 50mm |
| 载物台晶圆尺寸 | 150mm（6吋）,200mm（8吋） |
| 台阶高度重复性 | 5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 640*626*534 |
| 重量 | 40kg |
| 仪器电源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
使用环境
相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH
温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）
音频噪音：≤80dB
空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）
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