光学3D表面轮廓仪
产品简介
详细信息
光学Zoom：1×，（0.75×，0.5×可选）
干涉物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电控
XY横向分辨率：≤0.4μm
Z轴行程：≥100mm
Z向分辨率：0.1nm
单次Z向扫描范围：10.3mm，厚度重复性≤1nm
Z向扫描速度：≥45μm/s
可测样品高度：≥100mm
可测样品反射率：0.05%-99%
水平调整：±5°
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度＜0.7%，重复性＜0.1% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效