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正入射太赫兹镜头主要由太赫兹信号发射端、太赫兹信号接收端、共线适配单元组成。其中，采用光路复用的光学系统，可以大大提高模块的集成度，且光轴垂直于样品入射，可以使得系统拥有更大的景深；太赫兹信号发射端、太赫兹信号接收端可以进行短距调焦，以矫正光学系统的误差，保证太赫兹信号强度；共线适配单元内部设计有特殊的消杂光结构，避免二次反射太赫兹信号对于测试精度的影响。