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MCPD series 嵌入式膜厚测试型

供应商：: 大塚电子（苏州）有限公司

企业类型：: 其他

产品简介

本公司的MCPD series，由于采用柔软纤维的事，从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。通过采用独自算法，可以高速实时监控。...

详细信息

产品信息

特　点

●膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）

●最短曝光时间1ms~※根据规格

●由于是柔性纤维光学系统，容易组装到半导体工艺装置中

●可从上层远程控制

●于研磨中膜厚终点检测

基本配置

基本構成図(1).png

装置组装示意图

組込みイメージ.png

测量案例

測定例.png

适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺

等等

仕様

MCPD-9800仕様

MCPD-9800仕様