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激光光谱原位分析仪(LIBSOPA-200)是激光诱导击穿光谱分析技术（LIBS）和原位统计分布分析技术（OPA）结合的新型分析仪器。激光诱导击穿光谱原位统计分布分析技术(LIBSOPA)通过高能激光聚焦于样品表面，样品被击穿形成高温等离子体，通过检测等离子体光谱信号，获得样品的成分及元素分布信息的技术。其分析原理是：样品表面被高能激光击穿形成等离子体，等离子体光线经过滤波,分光之后被多通道的光电倍增管检测系统检测。根据光谱特征谱线波长得出被击穿位点的元素种类;定标后对应谱线的强度表示被击穿位点元素的浓度。借助精密三维移动平台在样品激发表面很好的定位和记录，实现任意点扫描，一维线性扫描，一维深度分析和二维面扫描分析，并据此获得与材料原位置相对应的各元素原始含量及状态信息，可以用统计解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。该方法不但有激光光谱的非接触分析，微区分析，深度分析的优点，又具备原位统计分布分析技术的原位性和统计性。LIBSOPA-200的研制成功为材料成分分析，缺陷分析，涂镀层等样品的分析应用提供了新的技术手段及质量判据。