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【概述】

标准的激光直写系统可以复制小至200 nm的结构， 通过自聚合技术， 最小线宽甚至窄至90 nm。 该飞秒激光3D纳米光刻工艺可重复制造相同的结构， 结合冲压技术后加工速度会更快。 我们可以使用同一台激光器完成激光烧蚀和其它各种微加工工艺，如打微孔等，这使得我们的系统更灵活，适用于多种多样的应用。

MPP是用于以纳米分辨率对微米级对象进行3D构造的技术。

我们开发的激光微加工工作站可在单个基板上实现增材制造和减材制造的结合。在范围内进行数十种定制系统设计的经验使我们能够选择您价格范围内的解决方案。

【技术指标】

1. 波长– 780 nm

2. 重复频率– 100MHz

3. 脉冲持续时间<100 fs

4. 平均功率> 50 mW

5. 用户友好的专有软件包SCA

【主要特点】

1. 分辨率：200 nm – 10μm

2. 多种聚合物可供选择

3. 拼接无错激光笔

4. 能够在书写过程中更改书写分辨率

5. 复杂的3D对象和任意微结构的制造

6. 重复性和稳定的工作流程

7. 可以将新结构原位整合到现有结构中

【多光子聚合】