大型等离子清洗机
产品简介
详细信息
| 产品说明： |
| 大型等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 13.56MH高频功率输出，RIE/DP双工作模式
█特征 能针对性的制作一些特殊电极，提高生产效率。 高可靠性RF电源，高精度调谐装置 █用途 *硅晶圆的灰化及蚀刻 *IC封装，BGA/CSP基板处理 *电子半导体零部件和电子材料的干式清洗 *物体表面氧化物和有机物的去除 *镀膜，烤漆前的清洗（增强膜层的附着力） █电极构造 █技术规格 |
| 产品说明： |
| 大型等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 13.56MH高频功率输出，RIE/DP双工作模式
█特征 能针对性的制作一些特殊电极，提高生产效率。 高可靠性RF电源，高精度调谐装置 █用途 *硅晶圆的灰化及蚀刻 *IC封装，BGA/CSP基板处理 *电子半导体零部件和电子材料的干式清洗 *物体表面氧化物和有机物的去除 *镀膜，烤漆前的清洗（增强膜层的附着力） █电极构造 █技术规格 |