等离子清洗机
产品简介
详细信息
等离子清洗机原理
利用等离子清洗机中的等离子体进行
等离子清洗，所产生的等离子体的装
置是在密封的容器里面设置多个电极
形成的电场，利用真空泵达到一定的
真空值，由于电场的作用，他们在发
生碰撞的时候形成了等离子体，由此
产生的等离子体可以达到表面清洗处
理的效果。
特点
利用等离子清洗机中的等离子体进行
等离子清洗，所产生的等离子体的装
置是在密封的容器里面设置多个电极
形成的电场，利用真空泵达到一定的
真空值，由于电场的作用，他们在发
生碰撞的时候形成了等离子体，由此
产生的等离子体可以达到表面清洗处
理的效果。
特点
·等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。
·对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求
·等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
·射频功率无极连续可调。
·高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
·特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
·的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。
应用范围
恒超源洗净科技（深圳）有限公司专业研发生产销售等离子清洗设备，是微波等离子工艺用于芯片制造、MEMS器件、LED、光伏电池、连接器、平板显示器和探测器等领域的市场。在光刻胶灰化、活化、表面浸润、晶圆减薄和应力去除、打线前的bond pad清洁、封胶前的活化等应用中用安全的微波等离子对硅、三五族化合物、铌酸锂等半导体材料进行处理。微波等离子体特别适合于处理对静电敏感的器件。
·对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求
·等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
·射频功率无极连续可调。
·高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
·特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
·的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。
应用范围
恒超源洗净科技（深圳）有限公司专业研发生产销售等离子清洗设备，是微波等离子工艺用于芯片制造、MEMS器件、LED、光伏电池、连接器、平板显示器和探测器等领域的市场。在光刻胶灰化、活化、表面浸润、晶圆减薄和应力去除、打线前的bond pad清洁、封胶前的活化等应用中用安全的微波等离子对硅、三五族化合物、铌酸锂等半导体材料进行处理。微波等离子体特别适合于处理对静电敏感的器件。
