6"等离子清洗机EQ-PDC-001
产品简介
详细信息
6"等离子清洗机EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。
技术参数
| 输入 功率 | AC 110V , 50/60 Hz, < 200W |
| 输出 频率 | 13.56 MHz |
| 功 率 | ●低档716V DC 10 mA DC 7.2 W ●中档720V DC 15 mA DC 10.5W ●上等740V DC 40 mA DC 30 W |
| 等离子腔体 | 尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔体 |
| 真 空 泵 和 阀 | ●仪器中包括有一双极旋片泵，2XZ-2，抽气速率为2L/s, ●泵上安装有一个不锈钢针阀，其接口为宝塔嘴接头 |
| 通入的气体 | 腔体中可以通入多种气体，如N2, Ar, Air ，也可以通入多种混合气体，以满足实验需要 ，不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中 |
| 可选 配件 | ●如果基片的直径为2"和4"，可以选购石英架，每个石英架上可以放25片 ●数字式真空显示计，可以**显示石英腔体内的真空度 |
| 外型 尺寸 | 11" H x 18" W x 9" D |
| 细节图（点 击 查 看 大 图） |    |
| 质保期 | 一年质保 ( 不包括石英腔体和密封圈) |
| 质量 认证 |  CE Certified |