美国英斯特克(Instrutech)CCM502系列冷阴极电离真空计
产品简介
详细信息
产品特色
●低杂散磁场技术
●在恶劣环境下,使用寿命长
●内置控制器,对数线性模拟输出
●双传感器可互换,零维护- 可换插头
●抗腐蚀馈入装置
●超紧凑尺寸
●可靠的快速激活传感器设计
行业应用
●真空炉
●分析仪器
●真空镀膜
●半导体
●大学科研
●工业-激光
●医疗
性能指标
测量范围:7.6×10-10~1×10-2Torr
1.3×10-9~1.3×10-2 mbar
1.3×10-7~1.3Pa
精度(N2):7.6×10 ~7.6×10 Torr:±30%读数
重复性:7.6×10 ~7.6×10 Torr:±5%读数
暴露在真空的材质:镍合金、氧化铝、不锈钢、玻璃
内部容积:22.8cm (1.391in )
容许压力:145psi,10bar绝压(于惰性气体<50℃)
温度:工作温度:+5~+55℃;存储温度:-40~70℃
烘烤温度(法兰):150℃(于表,电子元件移除)
相对湿度:
7.6×10-8~7.6×10-3Torr 0~95% 相对湿度,非冷凝
7.6×10-9~7.6×10 -3Torr 0~70% 相对湿度,非冷凝
重量:0.28kg(0.61 lb.)(NW25KF接口)
外壳:铝挤压
安装方式:任意
模拟输出:对数线性0~8Vdc,1V/十进制
错误信号:模拟输出开关≥10V
响应时间:p=7.6×10 Torr ~1秒
p>7.6× 10-7Torr <100毫秒
输出状态:冷阴极开关状态由打开集电极晶体管决定
(30V,VCE,100mA,IC)
晶体管关=传感器关,晶体管开=传感器开
供电电源:14.5~30Vdc,2W电源反接和过压保护
电源电压纹波:≤1Vp-p
测量室高电压:工作电压(阳极):≤3.3KV
传感器激活电压(阳极):≤4.5KV
测量室电流:低电流集电极版本≤100μA
高电流集电极版本≤500μA
电气连接:9针D型外螺纹
CE认证:EMC(EN61000-6-2, EN61000-6-3
EN61010-1, EN61326-1)
环境认证:RoHS认证