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锇/等离子体镀膜机

概述

锇等离子体镀膜机是一种利用直流等离子体放电的负辉光相区对样品进行镀膜的等离子体化学气相沉积镀膜机。主要用于扫描电镜样品上的导电薄膜涂层。

传统的金属镀膜机，有各种各样的所谓溅射镀膜机，它们使用重金属作为镀膜材料，如金、铂、钯等，用这些方法，涂层本身的粒度问题是不可避免的。此外，如果在高倍镜下进行检测，用这些方法涂覆的试样无法避免由于暴露于强电子束而引起的充电、热损伤和污染，从而导致扫描电镜图像的分辨率较低。而锇/等离子体镀膜机则避免了这些劣势，无粒度问题，无热损伤和污染，高分辨率。

应用

1 锇薄膜

•用于扫描电镜样品的导电薄膜

•防止扫描电镜/透射电镜样品受到污染

•AFM样品保护膜

•SPM试样的导电保护膜

•SPM悬臂保护膜

2  等离子聚合膜（萘）

•光纤试样保护膜

•防止嵌入树脂的样品剥落

•氟树脂涂料（Os-PF混合涂料）

•TEM栅支撑膜

•透射电镜超薄截面的防漂移

3 锇超薄膜[可选]

•用FESEM观察绝缘体的超微结构

•通过ESCA/AES对绝缘体顶面进行定量分析

•增强透射电镜样品的导电性

•AFM样品的防静电处理

•STM试样的抗静电处理

•蚀刻（仅混合气体法）

4 亲水处理[可选]

•氟树脂表面锇涂层的预亲水处理等。

•防止嵌入树脂的样品剥落

•TEM支撑膜表面的亲水化

•TEM网格的亲水化

•超显微切片机用金刚石刀的亲水化

•改善润湿性

5 深井电极[可选]

•样品涂层高度

型号

OPC60A  锇膜专用

涂层类型：Osmium

厚度：几纳米到几百纳米

OPC80T   锇/等离子聚合膜

涂层类型：Osmium/PF（萘）

厚度：几纳米到几百纳米