出水口一:国家实验室I级超纯水水质:比电阻达到18.25MΩ.cm@25℃ 微粒(大于0.05μm)含量:<1/m1 热原含量:<0.001Eu/m1 微生物含量:<1CFU/m1 总有机碳量TOC:1-3PPb 可溶性硅(sio2)<0.01mg/l 金属阳离子含量:(单位ppb): Fe(铁)<0.002 Cu(铜)<0.002 A1(铝)<0.003 Ni(镍)<0.001 Zn(锌)<0.005 Cr(铬)<0.001 Na(钠)<0.02 K(钾)<0.02 阴离子含量(单位ppb): C1ˉ(氯)<0.01 NO2ˉ(亚硝酸根)<0.02 NO3(亚硝酸根)<0.02 SO4(硫酸根)<0.01 出水口二:国家实验室Ⅲ级出水口水质:符合ASTM、CAP、NAP、 |