现场/远程- FIB等离子束系统
产品简介
详细信息
设备介绍
Thermo Scientific™ Helios™ G4 CX 显微镜的创新,结合较易使用、较全面的软件和赛默飞世尔科技的应用专业知识,使 Helios G4 CX DualBeam 与可选的 AS&V4 软件可获得较高质量、全自动采集的多模态 3D 数据集。结合 Avizo 可视化软件,它可提供的工作流程解决方案,实现纳米级的分辨率、的 3D 表征和分析。
仪器型号
FEI Helios G4 CX
技术参数
- 放大倍率x18 - x800000
- 电子束加速电压200v -30kV
- 电子束着陆电压20v -30kV
- 电子束流0.8pA - 100nA
- 离子束分辨率4.0nm@30kV
- 离子束加速电压500v -30kV
- 离子束束流0.1pA - 60nA
- 能谱仪分辨率优于127eV
案例展示
应用范围
1.纳米材料形貌像分析、材料微区域EDS能谱成分分析、EBSD电子背散射衍射晶体取向分析,其广泛应用于材料、化学化工、机械、生物、医学等领域。
2.可用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳图形结构。高质量定点TEM样品制备。离子束刻蚀、离子束沉积;高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。