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智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！

无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking)，曝光、显影后的坚膜硬烘（Hard baking)等工艺，适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。

特点：

1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 10/Class 100

2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生PARTICLE；

4.采平面水平由后向前送风后经高温H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)

烘箱主要参数介绍：

温度范围：室温+20℃～300

规格尺寸：

均匀度：±1.5%

洁净等级：Class10  Class100（洁净度要求可根据客户需求配置）

升温速度：常温～+600℃,升温速率：0~7℃/min，升温斜率程序可控

降温速度：降温斜率程序可控

控制系统：欧姆龙PCL+10寸触摸屏。