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真空泵隔离阀 (VPI)

安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵采取并联方式电连接，并且在断电时可以快速关闭，从而防止油返流或颗粒进入您的真空系统。该阀门还从入口侧对泵排空，这样可以将碎屑全部推向出口，从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。阀体设计和直角式构造提供了的真空流导。

特性

• 采用中心锁定机构实现可靠、可重复的密封
• 快速动作，在电源故障情况下阀门在 30 毫秒内关闭，防止油或污染物迁移，为您的真空系统提供及时的保护
• 在泵入口侧进行泵放空，保持流向不变；油/碎屑不会冲入系统中
• 在泵入口压力恢复到系统压力之前保持关闭，以提供持续的保护并方便重启
• 在大气压下操作，并且在断电时执行，操作无需压缩空气
• 提供的流导，不降低抽速

性能指标

技术指标