四探针电阻率测试仪

四探针电阻率测试仪

在中国标准分类中，四探针法涉及到半金属与半导体材料综合、金属物理性能试验方法、、、电工合金零件、特种陶瓷、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电阻器、半导体集成电路、工程地质、水文地质勘察与岩土工程、水环境有物质分析方法、电工材料和通用零件综合、半金属、元素半导体材料、金属无损检验方法。

GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法

GB/T 1551-1995 硅、锗单晶电阻率测定 直流两探针法

GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。

本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、压强值、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

半导材料四探针测试仪（BEST-300C）

半导电材料电阻测试仪BEST-300C

特点：电阻精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ； 

方电阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ； 

双电测原理，提精度和稳定性； 

测试探头直排和矩形可选； 

标配RS232、LAN、IO、通讯接； 

可配戴软件查看和记录测试数据； 

适用范围

使?四探针治具测试?状或块状半导体材料、属涂层以及导电薄膜等材料的?阻和电阻率

使?开尔?测试夹直接测试电阻器直流电阻； 

四端测试法是目前较之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。

本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

四探针?阻测试仪是运?四探针原理测量?块电阻的专?仪器，电阻率和电导率同时显。仪器 

测试范围0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，电阻精度0.01%，精度2%。可?于测试半导体、属涂层导电薄膜等材料的?阻和电阻率。 

参数便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；

基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。

精度高：电阻基本准确度： 0.01％；

方阻基本准确度：1%；

电阻率基本准确度：1%

整机测量相对误差：≤±1%；整机测量标准不确定度：≤±1%

四位半显示读数；十量程自动或手动测试；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10档分选；实现HIGH/IN/LOW分选

测量范围宽： 电阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；

正反向电流源修正测量电阻误差

恒流源：电流量程为：DC100mA-1A；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。

可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。

校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。

厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。

自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。

双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.

具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。

比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。

测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。

软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分

析。

显示语言 英文/中文

供电模式110v/220v

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

半导材料四探针测试仪（BEST-300C）

半导电材料电阻测试仪BEST-300C

特点：电阻精度：0.01%，分辨率0.1uΩ； 

方电阻精度：1%，分辨率：0.1uΩ； 

双电测原理，提精度和稳定性； 

测试探头直排和矩形可选； 

标配RS232、LAN、IO、通讯接； 

可配戴软件查看和记录测试数据； 

适用范围使?四探针治具测试?状或块状半导体材料、属涂层以及导电薄膜等材料的?阻和电阻率

使?开尔?测试夹直接测试电阻器直流电阻； 

四端测试法是目前较之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。

本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

四探针阻测试仪是运四探针原理测量块电阻的专仪器，电阻率和电导率同时显。仪器 

测试范围0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，电阻精度0.01%，精度2%。可于测试半导体、?属涂层导电薄膜等材料的阻和电阻率。 

参数便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；

基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。

精度高：电阻基本准确度： 0.01％；

方阻基本准确度：1%；

电阻率基本准确度：1%

整机测量相对误差：≤±1%；整机测量标准不确定度：≤±1%

四位半显示读数；十量程自动或手动测试；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10档分选；实现HIGH/IN/LOW分选

测量范围宽： 电阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；

正反向电流源修正测量电阻误差

恒流源：电流量程为：DC100mA-1A；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。

可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。

校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。

厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。

自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。

双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.

具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。

比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。

测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。

软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分

析。

显示语言 英文/中文

供电模式110v/220v

电阻测量范围：

电阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

电阻：1×10-5～2×105Ω

电导率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  醉小1μΩ