GF125 / GF126系列金属密封热质量流量控制器和仪表

MFC | 半导体产品

金属密封热

高纯和超高纯气体质量流量控制器与流量计

GF125 系列产品是多变量压力变化补偿型 (PTI) 金属密封质量流量控制器和仪表，作为将 PTI 质量流量控制技术引入市场的 GF125 系列产品降低了压力和温度波动导致的过程气体流量变化。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。

结果：降低了气体显示屏尺寸和成本，这得益于省去了压力调节器、压力传感器和相关硬件的使用并辅以 PTI 性能以提高产率和生产效率。

特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%ar
• 稳定时间短：300 ms – <700 ms
• 满量程流速达 300 slpm
• – 4µ 英寸 Ra 表面处理
• 符合 SEMI F20 标准的接液材料
• 采用高速 ARM 处理器的耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器
• 可进行快速反应的无隔膜阀组件不受压差影响，并且测试表明产品经七百万次循环
• MultiFlo™ 技术灵活性 — 一台设备经编程设定后即可满足数千种不同气体和流量测量范围配置的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
• 本地显示屏可指示流量、温度、压力和网络地址以便于轻松解决供气和隔离阀故障问题
• DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口

优势

• GF125 系列产品通过将布鲁克斯仪器的流量传感器技术与能够进行快速反应的无隔膜阀组件相结合，可将响应速度和稳定速度较之其他质量流量控制器提高 3 倍。
• 经优化的接液流路，可提升干燥效果
• MultiFloTM 技术可实现 MFC 流量测定量程的重新设定，通常是按 3:1 下调并且不影响精度，量程比或内漏率
• 全面的气体数据库为您提供广泛的气体保护信息
• 压力变化补偿 (PTI) 功能能够克服传统 MFC 的限制（受进气压力波动影响明显）。产品效果表明其性能稳定并且可达到预期精度。
• 便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除

关键应用

• 半导体
• MOCVD（金属有机化学气相沉积）
• 要求使用高纯度全金属流路的气体流量控制应用
• 便捷的维护端口
  • 轻松进行诊断和故障排除
  • 不影响工具通信

  用户界面

  • 轻松安装、启动和操作

  机械耦合阀

  • 耐腐蚀全金属阀
  • 采用无隔膜设计并且不受压差影响
  • 高速吹扫功能
  • 测试表明产品经四百万次循环

  压力传感器

  • 不受输送压力扰动或波动影响的稳定流量控制

  温升传感器

  • 长期稳定性（<+0.5% F.S/年）
  • 提高了信噪比
  • 高速吹扫功能
  • 可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体

  温度传感器

  • 可在全温度范围内进行准确的流量和温度测量
  • 实时补偿环境温度波动，实现准确的气体化学控制