滑阀式真空泵，全称滑阀式油封机械真空泵，简称滑阀泵，同旋片泵一样，是一种变容积式气体传输泵，其应用范围和使用条件也与旋片泵基本相同。

    滑阀式真空泵由于其结构特点，容量比旋片式真空泵大得多，因此多地应用与大型真空设备上。滑阀式真空泵的基本类型也分为单级与双级两种类型。其中单级泵中的小泵压力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均关气镇）；双级泵的压力不大于0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀式真空泵多采用单级形式。

    由于滑阀式真空泵旋转质量有较大偏心，没有好的质量平衡，在运转时会产生较大振动。同时由于滑阀泵的旋转质心运动轨迹是复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的全部平衡。这就限制了滑阀式真空泵的转数，一般控制350~600r/min，个别的可达到1000r/min以上。

    罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表，来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭，自动过载保护。整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。

    根据被抽真空系统的大小及压力的不同，真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4：2——10：1之间，前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油，在前级管道上装有电磁充气阀，其动作与前级泵电动机实现联动，当滑阀泵停泵前，向泵口充气，确认滑阀泵内的真空油返回到油箱内，同时防止真空系统受到真空油污染。

    罗茨滑阀真空机组具有显著的节能效果，真空度高，高真空区间抽气量大，可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥；航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体，应加装过滤装置。