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所在地
型号 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE(DP模式选购) | |
高频输功率 | 600W | 2000W |
反应台尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反应气体 | 2进气系统(氧气、氩气) | |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 | |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |