手动放置和取出晶圆/承载环

自动胶膜进给和贴膜

支持各种膜类，包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜、特种膜类

自动圆形切刀用于非预切割膜的切割

自动收卷衬纸，适用于UV膜和非UV膜

晶圆台盘温度可编程控制，可达120℃

标准8”晶圆台盘用于8”晶圆，可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘

PLC控制，带5.7”触摸屏

配置光帘保护功能，和紧急停机按钮

三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控

贴膜质量

没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）

每小时产能

≥80片晶圆

MTBF

>500小时

MTTR

<1小时

停机时间

<3%

晶圆直径

8”& 12”

晶圆厚度

50~750微米

晶圆种类

正常的V型缺口晶圆

膜种类

预切割膜、DAF膜、非预切割膜、或者UV膜

宽度：290毫米预切割膜/DAF膜

         320毫米UV/非UV膜

长度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

晶圆承载环

8”DISCO 或者K&S标准

贴膜定位精度

±1mm

装卸方式

手动晶圆/承载环放置与取出

防静电控制

去离子风扇

台盘温度

室温~ 120℃，可编程控制

切割系统

环型切刀用于8”DISCO承载环

控制单元

基于PLC 控制，带5.7”触摸屏

安全防护

配置光帘保护和紧急停机按钮

电源电压

单相交流电220V,16A

压缩空气

60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺

机器结构

全铝型材制造，坚固耐用

机器外壳

白色喷塑金属外壳

体积

800毫米(宽)*1450毫米(深)*1980毫米(高)

净重

350公斤