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【高精度】
适用于高纯度气体、高精度控制的高规格设计。
可高精度控制微小流量、压力。
迟滞小，减小了压力降。
| 型号 | 名称 | 流量系列 | 2次侧设定压力 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| PGM-30V | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | -0.07～0.21Mpa | |
| PGM-30 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.21Mpa | |
| PGM-50 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.35Mpa | |
| PGM-100 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.7Mpa | |
| PGM-H-60 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0～0.42Mpa | |
| PGM-H-100 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0～0.7Mpa |
