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住友臭氧发生器仪器
应用：
1. 半导体器件
2. Si/复合晶圆
3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
4. 光罩
5. 发光二极管
具体规格
| 臭氧气体流速 | 1L/min to 24L/min |
| 臭氧气体供应压力 | *大0.15MPa |
| 冷却水温度 | 20°C±2°C |
| 尺寸 | W483mm x D453mm x H266mm |
| 重量 | 30 to 45kg |
| 功率 | 200-220VAC, 3-phase |
住友臭氧发生器仪器优势：
高浓度；高达400g/m3（N），不含氮掺杂
19英寸机架尺寸标准型号
丰富的产品线；小容量到大容量
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
管道材料；从316LSS或P中选择
