在当今及以后的光伏和半导体制造流程当中,靶材无疑是重中之重的原材料,其质量和纯度对半导体产业链的后续生产质量起着关键性作用,而靶材与背板的结合强度是其中重要的一环,新国标GB/T39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法规定了靶材与背板的结合强度试验方法,该试验分为拉伸试验和剪切试验,方法如下
主要技术指标
型号 JD3380
试验力KN 100
试验机精度 1级
试验力测力范围 0.4%—99%F.S
试验力分辨率 1/300000全程不分档,全程分辨率不变
试验速度 0-300mm/min
拉伸试验行程mm 650
试验宽度mm 400
位移分辨率mm 0.01
电源电压 交流220V 50Hz
主机尺寸mm 780×650×1950mm
主机重量kg 400