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FlexSEM 1000 II
“的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计,仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。
参数规格:
项目 | 内容 |
---|---|
分辨率*3 | 4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式) |
加速电压 | 0.3 kV~20 kV |
倍率 | ×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (显示器显示倍率) |
低真空设置 | 6~100 Pa |
电子枪 | 集中灯箱(Pre-Centered Cartridge Filament) |
样品台 | 3轴马达驱动样品台 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° 可观察范围:直径64mm(R联用)*4 |
样品尺寸 | 直径80 mm(选配:直径153mm) |
样品高度 | 40 mm |
尺寸 | 机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm 电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm |
选项 |
|
软件 | Multi Zigzag(连续视野图像导入功能) |
产品特点:
FlexSEM 1000 II,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”,这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现最直观的视野移动。
凭借的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器(UVD*2),可在低加速/低真空下观察时实现的画质
全新的定位功能“SEM MAP”,支持观察时的视野搜索和样品定位
尺寸虽小,却具备同类产品中的分辨率。
金颗粒沉积 金颗粒沉积
加速电压:20 kV 加速电压:20 kV
倍率:60,000倍 倍率:50,000倍
信号:SE 信号:BSE
分辨率:4 nm 分辨率:5 nm
配备可优化放射电流的功能,以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度,而获得噪点小且清晰的图像。
搭载GUI和自动调节功能,让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦(AFC)、自动亮度调节(ABCC)按钮,就可以获得的图像。(自动调节:与以往相比,缩短时间约13秒*3)当然,也可以通过触屏进行操作。
*3对比日立SEM SU1510
“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像,定位样品,一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴,并以分布图的形式显示。
宽幅仅为45厘米,紧凑型设计,地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外,机体和电源盒可以分离,从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。