使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式
高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应
多种用途。
●可变更电极构造提高等离子效果。
●搭载高精度适配器,高性能RF电源。
●可根据需求规格提供定制。
特征
●硅晶圆的灰化及蚀刻
●基板表面污垢处理
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有机物去除
●界面活性处理
●表面污染物去除
品牌
其他厂商性质
所在地
上海仪电物理光学仪电物光WGG-268 三角度光泽度仪
面议保定兰格MP系列微型柱塞泵
面议上海一恒BCV-5S1超净工作台
¥21800上海一恒BCV-2F超净工作台
¥15800上海一恒BCV-6S1超净工作台
¥24900上海一恒BCH-1BU超净工作台
¥9300上海一恒BCV-1FD超净工作台
¥9300上海智城ZHJH-C2112C水平流C型超净工作台
面议上海智城ZHJH-C2109C水平流C型超净工作台
面议上海智城ZHJH-C2112B水平流B型超净工作台
面议上海智城ZHJH-C2109B水平流B型超净工作台
面议上海智城ZHJH-C1209C垂直流C型双工作面超净工作台
面议等离子模式 | DP/RIE |
高频电源 | 13.56MHz |
输出功率 | Max1000 & 1500W |
有效电极尺寸 | W400×D375mm |
电极 | 平板(多目的) |
反应气体 | 聚合控制器2系统(填充气路另行安装) |
真空泵(标配) | 1000 & 1500L/min |
安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 |