真空穿透密封件FeedThrough

真空中真空电极FeedThrough，又称“穿通密封件”，是一种可以穿过真空腔壁，将大气端的各种电功率、电讯号、运动、流体及光束的等传输到真空室内部的密封装置。真空FeedThrough封接采用活性合金喷镀与传统陶瓷喷镀(Mo-Mn)的方法，结合*的真空焊接技术来实现陶瓷与金属的封接。这些都是为密封层提供所需的超高真空(UHV)组件。其通常使用的材料是高氧化铝(Al2O3)，可伐合金(Kovar)，无氧铜(OFHC Cooper)和304系列的不锈钢。 参考价面议

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