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上海市所在地
型号 | HX2000 | HX2100 | HX2200 | HX3000 | HX3100 |
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UPH | 15K | 20K | 22K | 13K | 18K |
XY轴精度 | ±38μm | ±25μm | ±15μm | ±38μm | ±25μm |
角位置精度 | ±3° | ±1° | ±1° | ±3° | ±1° |
刀具拾取或者堆栈装载 | 兼具 | ||||
晶圆尺寸 | 8英寸 | 12英寸 | 12英寸 | ||
DAF膜加热 | / | / | 支持 | / | 支持 |
晶圆自动上下料 | / | / | / | / | 支持 |