B.主要技术指标：

1.测量原理：垂直方向：触针法，电感传感器；
　　　　　　水平方向：光栅传感器；
2.测量范围：垂直400μm，水平100mm；
3.表面粗糙度示值误差：≤±5%；
　轮廓度示值误差：垂直≤0.25%，水平≤0.004%；
4.最小分辨力：垂直0.6 nm，水平1μm；
5.取样长度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；
6. 评定长度：N倍取样长度，N=1，2，3，4，5；
7. 数字滤波器：高斯、2RC、PC、不滤波；
8.粗糙度测量参数：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq；
　波纹度测量参数：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq；
　原始轮廓测量参数：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq；
　直线度测量系统测量参数：｜X2-X1｜，｜Y2-Y1｜；
9.轮廓图形的垂直放大倍率：100000倍无级连续放大；
　轮廓图形的水平放大倍率：50000倍无级连续放大；
10.驱动箱滑行长度：100mm；
11.驱动速度：0.1，0.2，0.5，0.8，1.0mm/s；
　 返回速度：1.5mm/s；
12.传感器返回形式：手动，自动；
13.基准导轨的直线性：1μm；
14.传感器测针：金刚石圆锥，锥角90°，针尖半径2μm；
15.立柱结构：快慢速机动升降系统，自动对准零位；
16.立柱垂直测量高度：290mm；
17.工作底台：460mm×620mm大理石平台；

C.仪器的组成：

D.仪器的外形尺寸与重量：

• 仪器净重：260kg；
• 仪器毛重：360kg；
• 仪器外形尺寸：1620mm×460mm×740mm；
• 包装外形尺寸：1590mm×1150mm×1065mm；