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面议型号 | ATE-450 |
生产工况精度 | <10μm |
测量精度 | 3μm |
行程X-Y-Z | 450mmX450mmX200mm |
视野范围 | 50mmX40mm |
运动速度 | 400mm/s |
种类 | 落地式 |
光源 | 同轴光、环形光等多种光源 |
选配 | 上下料机构 |