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型号 | 100A(台式) | 100A+(台式) | 100B(台式) | |
测量范围 | X轴 | 100 | 100 | 100 |
Z1轴 | 8 | 15 | 25 | |
Z轴 | 400 | 400 | 400 | |
精度 | X轴 | ±(1.8+2L/100)μm | ±(1.5+2L/100)μm | ±(1.5+2L/100)μm |
Z1轴 | ±(2+4H/100)μm | ±(1.8+3H/100)μm | ±(1.8+3H/100)μm | |
X轴 | 直线度 | 1.5μm/100mm | 1.2μm/100mm | 1.2μm/100mm |
分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |
产地 | 国产 | 进口 | 进口 | |
Z1轴 | 传感器类型 | 电感传感器 | 数字传感器 | 数字传感器 |
分辨率 | 0.05μm | 0.1μm | 0.1μm | |
产地 | 国产 | 进口 | 进口 | |
移动方向 | 前/后 双方向 | |||
测力 | 0.5-6g | |||
测针针尖 | 硬质合金 R:0.05mm/R:0.01mm | |||
爬坡角度 | 上升77度 下降88度 | |||
测量速度 | 0.02mm/s到4mm/s | |||
定位速度 | 0.02mm/s到4mm/s | |||
图形放大 | 可任意缩小、放大 | |||
安装要求 | 电源 | 220-240V AC 50HZ 单独地线;上限消耗功率:500W | ||
压缩空气 | 纯净压缩空气;气压0.4MP 消耗0.1m3/min | |||
环境要求 | 工作温度:10-30℃(常温);湿度:20-80%RH(无结露),良好地线,无明显震源 |