测量范围：200mm×100mm

分辨率：0.0002mm

准确度：（1+L/100）μm（其中 L为测量长度，单位：mm）

工作台

平工作台尺寸：260mm×270mm

圆工作台直径：φ  213mm

圆工作台角度分划范围：0°~ 360°

圆工作台角度分度值：30"

物镜

主显微镜立柱
倾斜范围：±12°
倾斜角度分划值：30′
测角目镜
角度分划范围：360°
角度分度值：1'
轮廓目镜
角度分划范围：±7°
角度分度值：10'
顶针装置
夹持长度：700mm
夹持直径：φ100mm
高顶针架
夹持长度：200mm
夹持直径：φ250mm
圆分度头
角度分划范围：0°~ 360°
角度分度值：1′
光学定位器
测杆垂直方向摆动范围：±3°
探测孔径：φ5mm
探测深度：15mm
定位变动性： <1μm
测量力（N）：0.1±0.03
环境要求：室温20±1℃，相对湿度40％－60％RH
仪器外形尺寸(mm) :长1300×宽1250×高800
仪器质量: 450kg