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MTI硅片测量仪
硅片尺寸76-300 mm 高分辨率 LCD 显示 快速、易于设置的菜单
5点测量, 厚度变化量以及弯曲度测量 网口以及RS232电脑接口 前方的USB接口方便存储数据 可达1700µm的测量范围
Proforma 300i | Proforma 300Gi | Proforma 300 OEMi 1 | |
精度2: | ±0.25 µm | ||
可重复性3: | ±0.25 µm | ||
分辨率: | 0.05 µm | ||
电压输入 (电压): | 100 to 240VAC | ||
电压输入 (频率): | 50 to 60Hz | ||
电力输入 (功率): | 50 W | ||
使用温度范围: | 15 to 40ºC | ||
响应时间: | 60ms | 客户 | |
尺寸(长x宽x高): | 482x330x279 mm | 483x388x89 mm | |
数据接口 | RS232, 网口, USB, LCD | RS232, 网口 | |
可支持的材料4: | |||
Si | |||
Ge | |||
InP | |||
GaAs | |||
重量: | 12.3 kg | 12.4 kg | 5.9 kg |
ProformaTM 300i – 手动晶圆测量工具
Proforma 300i使用MTI专有的快速、准确、可靠的非接触式PUSH-PULL电容探头。Proforma 300i可测量直径是300mm硅片的厚度, 总厚度变化以及弯曲度
