DynaFiz™ 动态测量激光干涉仪DynaFiz™ 动态测量
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DynaFiz™ 干涉仪的低噪声,高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。
DynaFiz™ 干涉仪具有的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。 LivePhase™ 获取能力提供了实时Zernike反馈为光学系统的光路对准进行追踪。这是一个电影形式,把一系列动态图像连接成电影提供光学系统随时间变化的过程。DynaFiz™ 干涉仪将使你的计量得到很大的受益。只有从ZYGO你才能得到值得信赖的测量可靠性。
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