随着太阳能电池工业的快速发展，多种光伏技术涌现市场。何种光伏技术，提能、监控质量及降低成本都将成为太阳能电池的研究重点。Bruker的探针式表面轮廓仪Dektak XT可为太阳能电池领域研究的科学家提供快速、精准等多种检测方案，Dektak XT探针式表面轮廓仪通过定性、定量或检测多道加工步骤，有效的帮助太阳能电池制造商提高产量、降低成本，加速太阳能电池的商业化。

1. Dektak XT测试太阳能电池薄膜厚度
理想的太阳能电池薄膜厚度是制造出优质太阳能电池的基本条件。透明薄膜还是不透明薄膜，只要构建出基底与薄膜的边界，Dektak XT均能在几秒之内快速准确的完成薄膜厚度的测试。

图1 太阳能电池厚度测试

2. Dektak XT表征太阳能电池的表面粗糙度

粗糙度是评价太阳电电池能效的重要指标之一，太阳能电池表面太光滑影响光照的吸收，太粗糙大量的散射同样会影响光的吸收，因此，太阳能电池表面粗糙度的监测对提能。探针式表面轮廓仪亚纳米级别的分辨率能够快速、的检测太阳能电池二维及三维表面的粗糙度。

图2 太阳能电池表面二维粗糙度

图3 太阳能电池表面三维粗糙度

3. Dektak XT检测太阳能电池表面轨迹及栅线宽度

为确保合适的面板及小面积无光伏材料覆盖，监控银线质量及传导轨迹。Dektak XT凭借强大的软件分割功能，可自动计算出栅线的深度、宽度、体积、底面与基底的粗糙度，对比数据库，可快速筛选不合格产品。同时帮助快速得到栅线正确的位置、宽度、深度，从而减少油墨等昂贵材料的浪费，降低成本。

图4 太阳能电池栅线的多种分析

4. Dektak XT优化与控制太阳能电池的生产过程

Dektak XT用于控制和太阳能电池的制造过程。Dektak XT凭借其200mm的扫描长度，能够快速扫描得出8寸晶圆基底各位置的高度，软件自动快速计算刻蚀与沉积的速率，确保得到理想的薄膜厚度、表面均匀性及必要的加工次数，从而提高生产效率、降低成本。

图5 8寸晶圆表面各位置高度

结论：

Dektak XT能够快速的表征太阳能电池表面信息，有效帮助得到能、低成本的太阳能电池产品。其主要优势有：

1. 对薄膜材质没有要求，透明、不透明均可，无需制样；

2. 亚纳米级别的纵向分辨率1Å；

3. 强大的软件分析功能；

4. 200mm超长的扫描长度；

5. 业内的台阶重复性，优于4Å。