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AKRIBIS 雅科贝思DGL XY悬臂式平台
· 悬臂式DGL XY 平台
· 悬臂式DGL XY 平台，采用雅科贝思标准模组DGL组成。
模组 | 运动轴 | 电机型号 | 有效行程（mm） | 运动总质量（Kg） | 总质量（Kg） | 传感器限位（mm） | 硬限位（mm） |
DGL180 | 上轴 | AUM3-S2 | 200-300 | 查看表2 | 查看表3 | 行程+4 | 行程+20 |
AUM3-S3 | |||||||
AUM3-S4 | |||||||
DGL200 | 下轴 | AUM4-S2 | 200-600 | A | B | 行程+4 | 行程+20 |
AUM4-S3 | |||||||
AUM4-S4 |
滑架尺寸 | S2 | S3 | S4 |
上轴 | 2 | 2.5 | 2.7 |
下轴 | 2.4 | 3.1 | 3.4 |
有效行程/上轴质量（g） | 200 | 300 |
电机线圈尺寸S2 | 17.04 | 20.44 |
电机线圈尺寸S3 | 18.26 | 22.94 |
电机线圈尺寸S4 | 20.74 | 23.24 |
有效行程/下轴质量（g） | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 |
电机线圈尺寸S2 | 16.4 | 19.8 | 22.3 | 25.7 | 29.1 |
电机线圈尺寸S3 | 18.9 | 22.3 | 24.9 | 28.3 | 31.7 |
电机线圈尺寸S4 | 20.1 | 22.6 | 26.1 | 29.5 | 32 |
规格参数 | 单位 | DGL180 | DGL200 |
1直线度 | μm | ±3μm/25mm | ±3μm/25mm |
NTE±10μm/300mm | NTE±10μm/300mm | ||
1平面度 | ±3μm/25mm | ±3μm/25mm | |
NTE±10μm/300mm | NTE±10μm/300mm | ||
重复精度（1μm分辨率） | ±3μm（40μm光栅栅距） | ±3μm（40μm光栅栅距） | |
重复精度（0.5μm分辨率） | ±1.5μm（20μm光栅栅距） | ±1.5μm（20μm光栅栅距） | |
重复精度（0.1μm分辨率） | ±1μm（20μm光栅栅距） | ±1μm（20μm光栅栅距） | |
重复精度（模拟量） | ±5 counts | ±5 counts | |
X-Y正交性 | Arc-sec | 10 | 10 |
AKRIBIS 雅科贝思DGL XY悬臂式平台
