特点：

• 世界自动化且精度高的测量显微镜(显示分辨力0.01um)。

• 主机的前台操作设计是基于UD( 通用化设计)的理念。

• 配备三轴电动前置控制手柄，这使传统的显微镜操作有了全新的变化，即使在快速运动的过程中也能进行精细定位。

• 用户可选择传统的显微镜光学管路或带内置激光自动对焦功能的光学管路，其观察方法多种多样，提高了测量工作的效率。

• 行程为250×150mm 的大工作台可为大工件的测量提供足够的空间。

• 使用超高精度低热膨的玻璃光栅尺和高分辨力的读数头。

• 的数据处理装置QM-Data200 和Vision Unit可结合使用，提供有效且稳定的测量环境。

• 晶片夹持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架满足高精度测量的需求。

• 电动转塔型拥有回缩功能，该功能在更换物镜时启动工作。