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日立球差校正扫描透射电子显微镜HD-2700
产品介绍:
HD-2700是一款200kV的场发射球差校正扫描透射电镜。相比于普通的透射电镜，HD-2700采用球差校正技术，大大减小了透镜球差对分辨率的影响，从而可以实现超高分辨率的观察。同时，HD-2700是目前少数以扫描透射（STEM）功能为主的透射电镜，大会聚角的STEM功能配合场发射电子枪和球差校正技术可以使HD-2700获得亚纳米级的电子束，使得原子级分辨率的图像观察和元素分析成为了可能，大大提高了电镜的观察和分析能力。
日立球差校正扫描透射电子显微镜HD-2700主要特点:
高分辨观察
利用金颗粒保证0.144nm分辨率DF-STEM像（标准型）。
大束流分析
约为非校正的STEM探针电流的10倍，可以进行高速、高灵敏度能谱分析，可以在更短的时间内获得元素的面分布图，使得检测微量元素成为可能。
简化的操作
提供了专用的GUI自动调节球差校正器
整体的解决方案
样品杆与日立FIB兼容，提供了纳米尺度的整体解决方案，从制样到数据获得和zui终分析
多种评价和分析功能可选
可同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像；可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统(DF-STEM像可以同时获得)；可以同时观察DF-STEM像和衍射像；可以配备超微柱头样品杆进行三维分析(360度旋转)等。
技术参数：
| 项目 | 主要参数 |
| 电子枪 | 冷场或热场发射电子枪 |
| 加速电压 | 200kV、120kV* |
| 0.144nm（标准型，配有球差、冷场或热场） | |
| 线分辨率 | 0.136nm（高分辨型，配有球差、冷场） |
| 0.204nm（标准型，配有热场，无球差） | |
| 放大倍率 | 200x - 10,000,000x |
| 图像模式 | BF-STEM相衬度像(TE像)、DF-STEM原子序数衬度像(ZC像)、二次电子像(SE像)、电子衍射花样(可选)、特征X射线像(可选：EDX)、EELS像(可选：ELV-2000) |
| 电子光学 | 电子枪：冷场或热场发射电子枪，内置阳极加热器 |
| 透镜系统：两级聚光镜、物镜、投影镜 | |
| 球差校正器：六极/传输 双重（标准型和高分辨型） | |
| 扫描线圈：两级电磁线圈 | |
| 电位移：±1μm | |
| 样品杆 | 侧插式，X=Y=±1mm，Z=±0.4mm ，T=±30°(单倾样品杆) |
应用领域:
HD-2700作为一款场发射球差校正的扫描透射电镜，不仅具有高分辨率的图像观察能力，同样具有高空间分辨率的分析能力，配合EELS和EDS可以实现原子级元素的分析。HD-2700具有多种成像模式，可以满足大部分样品的观察需求，日立*的SE成像模式可以获得透射电镜无法获得的样品表面的信息，同时又比普通扫描电镜具有更高的分辨率，可以实现对样品表面的高分辨观察。
应用文章：
[1] Ciston1, J., Brown2, H. G., D`Alfonso2, A. J., Koirala3, P., Ophus1, C., Lin3, Y., Suzuki4, Y., Inada5, H., Zhu6, Y. & Marks3, L. D. Surface determination through atomically resolved secondary electron imaging.Nature Communications,2005,6, 7358-7365.
[2] Zhu1*, Y., Inada2, H., Nakamura2, K. & Wall1, J. Imaging single atoms using secondary electrons with an aberration-corrected electron microscope.Nature Materials,2009,8, 808-812.
