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氩气纯化设备
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2023-03-10 13:58:40
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苏州穆尔气体设备有限公司
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产品简介
处理气量:(1-200)Nm3/h压力:≤1.0Mpa氩气纯度:≥99.999%露点:≤-70℃含氧量:≤1.5ppm含氢量:≤0.5ppm含氮量:≤4ppmΣCH≤1ppm广泛应用于:熔硅单晶炉配套使用,激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门
详细介绍
处理气量:(1-200)Nm3/h
压力:≤1.0Mpa
氩气纯度:≥99.999%
露点:≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氢量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于:
熔硅单晶炉配套使用,激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
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