SJ6000激光干涉仪光学测量仪器具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出。  

产品功能

1.SJ6000激光干涉仪光学测量仪器可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
3.可实现对机床回转轴的测量与校准；
4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
5.具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
6.支持手动或自动进行环境补偿。
   

产品参数

产品型号： SJ6800
产品名称： 激光干涉仪
稳频方式： 双频激光双纵模热稳频
稳频精度： 0.04ppm
测量距离：≤（0-80）m（无需远距离线性附件）
测量分辨力：1nm
测量至大速度：4m/s
线性测量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
主要特点：测量、恒测力、无阿贝误差

SJ6000激光干涉仪光学测量仪器在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。