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【产品应用】
扫描电镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
【技术参数】
分辨率:0.8nm@30kV STEM 、0.8nm @15 kV 、1.4 nm @1kV
放大倍数:10-1,000,000×
加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
探针电流: 3pA~20nA(100nA选配) 稳定性优于 0.2%/h
低真空范围:2-133Pa(Sigma 500VP可用)
样品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
样品台:5轴优中心全自动 X=130mm Y=130mm Z=50mm T=-4°-70° R=360°
系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
存储分辨率:32k x 24k pixels