技术背景

X-Max Extreme是超高分辨率FEG-SEM应用的一个突破性的解决方案。这种的探测器次实现EDS在超低电压(例如1-3kV)及很短的工作距离条件下采集信号来进行元素分析，而用户通常在该条件下进行纳米材料或材料表面的形貌观察。

**的超高分辨率FEG-SEM为研究更小尺度纳米结构、界面和表面提供了全新的解决方案。然而,在短工作距离、超低电压和束流条件下，其虽然能够在棱镜内探测器获得电子信号，却没有响应的能谱以进行元素表征。**X-Max Extreme改变了这种状况，它专为在这类参数条件下工作而设计:

• 的几何设计
  

为在更短的工作距离下工作而设计

为传统侧插能谱探头设计的立体角——通常比X-MaxN150 立体角大5倍而传感器到样品距离仅为正常距离的一半

• 无窗下工作

结合立体角，相比其他大面积探头，对低能X射线探测灵敏性可提高10-30倍

• 新的探头电子器件极大地提高了极低能量X射线，同时扩展了更高计数下的低能量分析性能

• AZtecEnergy与**低电压Tru-Q分析引擎整合为一体，实现低电压下数据处理及分析

为低电压下的谱峰剥离而改进的TruMap

为了实现这种的几何设计，X-MaxExtreme非圆形100平方毫米传感器和无窗的设计已经成功地用于X-MaxN 100TLE，以优化TEM中的灵敏度。除了探测器特性之外，小尺寸电子陷阱设计使得探测器可以在7kV电压下工作。