大型等离子清洗机

V1000/1000X/1000XS

13.56MH高频功率输出，RIE/DP双工作模式

█特征

能针对性的制作一些特殊电极，提高生产效率。

高可靠性RF电源，高精度调谐装置

█用途

*硅晶圆的灰化及蚀刻

*IC封装，BGA/CSP基板处理

*电子半导体零部件和电子材料的干式清洗

*物体表面氧化物和有机物的去除

*镀膜，烤漆前的清洗（增强膜层的附着力）

█电极构造

█技术规格