BLS-I/BCT-400少子寿命测试仪

●非接触方式量测真正意义上的硅块少子寿命

●涡电流法量测技术符合SEMI的PV13标准

●相比业界其他少子寿命测试仪BLS-I/BCT系列是性能更优越的少子寿命测试仪

●Wafer厂品质监控必*量测设备，拥有广泛的客户群。

一、 产品概述

BLS-I/BCT-400型号少子寿命测试仪可以量测P型或者N型单晶或者多晶硅块少子寿命，不需要表面钝化处理就可以量测少子寿命。少子寿命的量测对于监控硅块在长晶过程引入的缺陷或者污染物造成的缺陷有着重要的意义。通过使用少子寿命测试仪BCT-400可以直接判断硅块的质量好坏。BLS-I可以量测表面不平的硅块样品。而不同于BLS-I，BCT-400只能量测表面平坦的硅块。

二、 产品性能

主要应用：

• 量测高纯度硅少子寿命（范围在1ms-5ms）

• 量测掺硼的CZ 单晶硅少子寿命

• 量测多晶硅的少子寿命，陷阱浓度等

其他应用：

• 量测B-O缺陷，铁杂质浓度，以及表面的损伤

• 监控CZ和FZ单晶，多晶硅等硅片质量