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等离子体其中包括原子、分子、离子、电子、活性基团、激发态原子、活化的分子及自由基，这些粒子的能量和活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，从而有些化学键被打开后结合上氧原子等高活性的物质，使得材料表面亲水性得到极大提高，同时对材料表面的油污等有机大分子新的化学反应，生成气态小分子，例如二氧化碳，水气等气态物质被真空泵抽走，从而达到对材料表面分子级别的清洗。
在粘接/bonding/印刷/喷漆/镀膜/封装等工序时让产品可靠性更高，良品率更好。
| 型号 | PT-60-MF | |
| 整机尺寸（mm） | 785(W)×800(D)×1800(H) | |
| 重量（Kg） | 280 | |
| 真空腔体 | W400mm；D400mm；H400mm | |
| 托盘 | W360mm；D360mm | |
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射频电源 | 输出频率 | 40MHz / 13.56MHz |
| 功率 | 300W / 500W / 1KW / 3KW | |
| 负载阻抗 | 50Ω | |
| 真空测量 | 量程 | 1×10-2～1×105 |
| 工艺气路 | 2路工艺气体管道 | MFC质量流量计 |
| 控制系统 | 西门子PLC+MCGS触摸屏 | |
| 软件功能 | 手动模式和自动模式 | |
| 真空泵 | 可选油泵或干泵 | |
| 外部电源 | 380V；50/60Hz | |
| 其他说明 | 设备配置可根据要求定制 | |
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