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X射线光电子能谱仪 -XPS
厂家型号:赛默飞 Escalab250Xi
技术参数:
ESCALAB 250Xi型电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器,以X射线光电子能谱为主要功能,还带有紫外光电子能谱、反射电子能量损失谱及离子散射谱等附件功能。
1. X射线源靶:单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶;分析区域:20μm~900um之间连续可调;灵敏度:1*106 cps;成像空间分辨率:小于3μm 。
2. 真空系统:样品分析室(SAC):小于5.0×10-10 mbar(压强);样品处理室(STC):小于7.0×10-9 mbar(压强)。
3. 离子枪:离子源:Ar ;束流:6μA()at 3keV 。
4. 光源:He紫外光源。
应用范围:
在金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。
1.鉴别样品表面的元素种类、化学价态及相对含量;
2.深度剖析XPS,结合离子刻蚀技术对样品(如薄膜等)进行成分深度分布分析;
3.XPS成像,可对元素或化学态进行表面分布分析;
4.利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。
表征项目:
XPS常规、价带谱VB-XPS、功函数UPS、元素的俄歇谱表征AES,XPS深度蚀刻、微区成像。
样品要求:
1.元素含量不低于1% ;
2.粉末样品≥10mg ;液体样≥0.5ml ;块状样:长宽厚 5*5*3mm 。