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ZETA电位 · 粒径 · 分子量测试系统·ELSZneo3
面议ZETA电位 · 粒径测试系统·ELSZneoSE2
面议多样品纳米粒子径测试系统·nanoSAQLA
面议多样品nano粒子径测量系统 nanoSAQLA(带自动取样器 AS50)
面议ZETA电位 · 粒径 · 分子量测试系统·ELSZ-2000ZS
面议显微分光膜厚仪 OPTM series2
面议膜厚量测仪 FE-300
面议椭偏仪 FE-5000/5000S
面议分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3
面议多通道光谱仪 MCPD-9800 / 6800
面议总光谱光通量测量系统 HM/FM series
面议紫外分光辐射照度测量系统 New
面议产品信息
特 点
● 采用分光干涉法
● 搭载高精度FFT膜厚解析系统( 第4834847号)
● 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统
● 可嵌入至各种制造设备。
● 实时测量膜厚
● 可对应远程操作、多点测量
● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源
测量项目
多层膜厚解析
用 途
光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)
FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)
设备构成
单点型
半导体晶圆的面内分布测量
玻璃基板的面内分布测量
多点型
实时测量
流向品质管理
真空室适用
导线型
实时测量
宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析