AS200气体质量流量控制器

AS200气体质量流量控制器

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具体成交价以合同协议为准
2024-04-03 09:35:21
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产品简介

Description一、产品简介AS200系列气体质量流量控制器,为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性

详细介绍

Description

一、产品简介

AS200系列气体质量流量控制器,为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可支持数字信号,0~5V 模拟信号,4~20mA或 0~20mA 模拟信号,可以使用双电源(±15VDC)或单电源(+15~+28 VDC)。支持自动故障报警,多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件。

二、产品亮点

● 可同时支持数字信号,0~5V 模拟信号,4~20mA或 0~20mA 模拟信号

● 使用双电源(±15 VDC)或单电源(+15~+28 VDC)

● 支持自动故障报警,多气体多量程等功能

三、应用场景

气体质量流量控制器(AS200系列)用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。

技术参数

技术参数
流量规格(N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度

±1.0%S.P.(≥35%F.S.)

±0.35%F.S.(<35%F.S.)

线性±0.5%F.S.
重复精度±0.2%F.S.
响应时间1sec
工作压力0.45MPa
工作环境温度5~45℃
电源
±15VDC (双极)或 +15~ +28 VDC (单极)
重量0.95Kg
提示

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